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      Meiden純臭氧發生器

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      超純臭氧選購服務熱線:010-82461830

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      薄膜上常溫成膜方案

      高密封性應用案例

      薄膜上常溫成膜方案(圖1)

       

      效果

      通過OER工藝常溫生成OH活性基,沒有熱或物理損傷

      不需要真空排氣,大幅度縮短成膜時間

      利用專用噴頭均勻噴射氣體,上游和下游之間沒有分布差異

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