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      Meiden純臭氧發生器
       
   
      北京同林超純臭氧設備服務商
       
   
      超純臭氧選購服務熱線：010-82461830
       
  
       
   
 
       
  
  
  

       
   

 
       
 
 
       

  
       
 
       
   
 
       
    
       
  
  
       
   
       
  
 
       
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   In-situ洗凈方案 
  
      
   
       
 
      
   
      
   
      
	In-situ洗凈方案
      

      
	EUV光刻裝置后工程（光刻處）的In-situ洗凈應用例
      

      
	In-situ洗凈方案(圖1)
      

      
	 
      

      
	效果
      

      
	可以In-situ即時清洗低壓和高反應性電極部（低濃度臭氧從未實現的顯著特征）
      

      
	在沒有生成氧化物的同時去除污染（碳污染），保持光束反射率
      

      
	100%濃度純臭氧不含NOx和H?O，不會對Mask,Mirror造成損傷
      

      
	超真空環境下也能達到100%濃度純臭氧，可以充分分解Out Gas
      

      
 
      
    
       
 
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